RPS-SONIC: TCO 박막의 초음파 분무 스프레이 산업화를 위한 벤치마크

TCO 투명 전도성 필름 제조 기술의 산업화 물결 속에서 RPS{0}SONIC은 타겟 기술 연구 개발과 시나리오{1}} 기반 설계를 통해 초음파 분무 스프레이 장비를 광전지, 디스플레이 및 건설 분야의 핵심 장비로 선택했습니다. 이는 "높은 광선 투과율, 낮은 시트 저항 및 친환경 효율성"에 대한 업계의 핵심 요구 사항을 충족할 뿐만 아니라 정밀한 매개변수 제어 및 안정적인 운영을 통해 TCO 박막 준비를 실험실에서 대규모{3}}생산으로 전환하는 데 도움이 됩니다.

고주파 진동 무화 기술을 기반으로 하는 RPS-SONIC 초음파 무화 스프레이 장비는-TCO 박막 준비에 특히 뛰어난 적응성을 보여주는 핵심 기술 특성을 바탕으로 TCO 박막 준비 요구에 맞는 차별화된 제품 매트릭스를 형성했습니다. 장비는 주로 40kHz와 60kHz의 두 가지 고주파 진동 방식을 채택합니다.- 그 중 40kHz 집속 초음파 분무 노즐은 특수 수축 흐름 채널 설계를 통해 캐리어 가스를 균일하게 모아 TCO 전구체 용액(예: ITO, AZO, FTO sol)을 15{14}}40μm의 균일한 액적으로 분무할 수 있습니다. 액적 분포 균일성 오류는 ±3% 이내로 제어되며, 이는 10nm-500nm TCO 필름의 정확한 두께 요구 사항과 완벽하게 일치합니다. 저-점도(0cps) TCO 전구체 솔루션의 경우 장비는 0.5~20ml/min의 정밀한 흐름 제어를 달성합니다. 30-80mm의 조절 가능한 스프레이 높이와 0.5 MPa의 저압 흐름 가이드 설계가 결합되어 기존 압력 스프레이의 액적 튀는 문제를 방지하는 동시에 기판 표면에 액적의 조밀한 증착을 보장합니다. 그 결과 TCO 필름 시트 저항 변동은 ±5% 이내로 제어되고 가시광선 투과율은 85%-95%로 안정화되어 광전지 및 플렉서블 디스플레이와 같은 고급 애플리케이션의 성능 요구 사항을 완전히 충족합니다.

TCO 필름 준비의 핵심 장점을 바탕으로 RPS{0}}SONIC은 초음파 분무 기술의 산업적 가치를 더욱 증폭시킵니다. 첫째, 장비는 재료 활용 및 비용 관리 측면에서 상당한 이점을 자랑합니다. "무압력 분무" 및 집중 분사 설계를 통해 TCO 전구체 용액 활용률은 최대 90%에 도달하여 기존 마그네트론 스퍼터링 공정에 비해 재료 소비를 80% 이상 절약합니다. 이는 인듐 자원이 부족한 ITO 박막 제조에 특히 유리합니다. 귀금속 손실을 크게 줄여 기업의 생산 비용을 낮추기 때문입니다. 둘째, 매우 강력한 기판 호환성을 나타냅니다. 이 장비는 원자화 중에 매우 낮은 액적 운동 에너지를 사용하며 이는 일반적인 저온-온도 준비 공정을 나타냅니다. 이로 인해 유리, 실리콘 웨이퍼 등의 견고한 기판뿐만 아니라 PET, PI 등 유연한 기판에도 적합합니다. 이는 기판 변형 및 성능 저하로 쉽게 이어지는 유연한 TCO 박막 준비 시 기존 공정의 문제점을 해결하여 유연한 OLED 디스플레이 및 웨어러블 장치와 같은 분야의 TCO 박막 생산을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다. 셋째, 확장성과 안정성을 겸비합니다. 이 장비는 단일 스프레이 폭이 1-3미터인 다중-노즐 배열을 지원합니다. 10-100W의 조정 가능한 전력 설계와 결합되어 실험실의 소규모 배치 R&D 요구사항은 물론 광전지 모듈 및 건축용 유리와 같은 대형 장치의 대규모 생산 요구사항을 충족할 수 있습니다. 또한 장비에는 마모가 발생하는 움직이는 부품이 없으며 노즐이 막히는 경향이 적어 생산 중단 시간을 줄이고 연속 생산의 안정성을 보장합니다.

산업 적용 측면에서 RPS-SONIC 초음파 분무 스프레이 장비는 TCO 박막 준비 분야에서 여러 벤치마크 사례를 확립했습니다. 광전지 산업에서 해당 장비는 페로브스카이트 태양전지의 AZO/TCO 투명 전도성 층을 분사하는 데 사용됩니다. 액적 크기와 증착 속도를 정밀하게 제어함으로써 셀의 광전 변환 효율이 2-3% 포인트 향상됩니다. 현재 국내 굴지의 태양광 기업의 1GW-급 페로브스카이트-실리콘 이종접합 탠덤 셀 파일럿 라인에 진입해 대규모 양산을 달성하는 데 일조하고 있다. 디스플레이 분야에서는 플렉서블 OLED 스크린용 ITO/PET 복합 필름을 준비하기 위해 장비를 사용하면 굽힘 반경이 5mm인 플렉서블 기판에서 TCO 필름의 면저항 변화율을 10% 미만으로 유지하고 광 투과도를 92% 이상으로 유지할 수 있습니다.

이는 다운스트림 제조업체가 기존 공정을 사용하여 플렉서블 스크린의 수율을 75%에서 88%로 향상시켜 플렉서블 디스플레이 산업 체인의 핵심 장비 지원이 되는 데 도움이 됩니다. 건축용 스마트 유리 분야에서는 전기변색 유리용 AZO 투명 전도성 필름을 분사하는 장비로 ±2nm의 두께 오차 제어를 달성했다. 그 결과 전기변색 반응 속도는 10초 이하이고 서비스 수명은 100,000사이클 이상입니다. 동시에 필름의 높은 광선 투과율과 내식성은{9}}스마트 유리의 장기간 안정적인 작동을 보장하며 국내외 많은 고급 건축 프로젝트의 스마트 창 생산에{10}}적용되었습니다. 또한 Hangzhou Gonglu의 장비는 탁월한 다용성을 자랑하여 주류 TCO 박막 준비뿐만 아니라 TCO 층을 사용한 김서림 방지 및 부식 방지 코팅과 같은 기능성 필름의 복합 스프레이도 가능합니다. 예를 들어, 광전지 유리 표면에 FTO 투명 전도성 층과 방오 코팅을 동시에 분사할 수 있어 장치의 전반적인 성능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 앞으로 인듐이 없는 TCO 재료(예: AZO 및 GZO)의 홍보와 AI 육안 검사 기술의 통합을 통해 Hangzhou Gonglu의 장비는 98%를 초과하는 광 투과율 및 5Ω/□ 미만의 시트 저항을 포함하여 훨씬 더 높은 성능 목표를 달성하여 지속적으로 TCO 박막 제조 기술의 친환경화 및 개선을 주도할 것으로 예상됩니다.

초음파 분무 분무 분야의 산업 벤치마크인 RPS{0}}SONIC 장비는 정밀한 매개변수 제어, 안정적인 작동 및 광범위한 적용 적응성을 갖추고 TCO 투명 전도성 필름의 대규모 고품질 생산을 위한 핵심 지원을 제공합니다.- 당사의 기술 솔루션은 현재 광전자 산업의 개발 요구를 충족할 뿐만 아니라 미래의 유연한 전자 장치 및 신에너지와 같은 신흥 분야의 기술 혁신에 중요한 역할을 할 것입니다.