초음파 스프레이 노즐은 포토레지스트를 어떻게 코팅합니까?

초음파 스프레이 코팅 기술은 현재 다양한 산업 분야에서 중요한 역할을 하고 있는 신기술입니다. 이제 더 많은 고객이 코팅을 위해 초음파 노즐을 선택합니다. 기존의 2-유체 스프레이에 비해 초음파 스프레이는 코팅 품질, 재료 활용도 및 공정 호환성 측면에서 상당한 이점을 제공합니다.

 

우리 회사는 무료 샘플 테스트 서비스를 제공하고 있으며 점점 더 많은 고객이 테스트를 위해 샘플을 보내고 있습니다. 우리 장비는 고객으로부터 긍정적인 평가와 인정을 받았습니다.

 

오늘은 비교적 일반적인 재료 스프레이 유형인 초음파 포토레지스트 스프레이에 대해 설명하겠습니다.

 

포토레지스트는 빛이나 방사선에 민감한 박막 소재로 주로 집적회로, 디스플레이 패널 등 분야의 미세 패터닝에 사용된다. 이는 포토리소그래피 공정에서 내식각 코팅 역할을 합니다.- 빛에 노출되면 용해도가 변화하여 원하는 회로 패턴을 형성합니다. 포토레지스트는 포지티브-톤(노출된 영역이 용해됨)과 네거티브-톤(노출되지 않은 영역이 용해됨)으로 분류됩니다. 노광 광원에 따라 UV, 원자외선, 극자외선, 전자빔 저항으로 분류됩니다.

초음파 포토레지스트 미립화 스프레이 기술의 핵심은 초음파 진동 에너지를 사용하여 포토레지스트를 효율적이고 균일하게 미립화하는 것입니다. 그런 다음 정밀한 공기 흐름 제어를 통해 원자화된 물방울을 기판 표면에 전달하여 고품질-코팅을 형성합니다. 프로세스는 세 가지 주요 단계로 나눌 수 있습니다.

 

 

1. 포토레지스트 원자화: 고주파-주파수 진동이 액체의 표면 장력을 분해합니다.

초음파 분무 기술의 핵심 구성 요소는 압전 세라믹 진동기가 내장된 초음파 분무 노즐입니다. 고주파-주파수 전기 신호가 진동기에 적용되면 동일한 주파수에서 기계적 진동이 발생하여 진동 에너지가 노즐의 분무 표면에 전달됩니다. 포토레지스트가 액체 공급 시스템을 통해 분무 표면으로 전달된 후 고주파-주파수 진동이 액체의 표면 장력을 빠르게 분해하여 균일한 직경(일반적으로 5μm-50μm)의 미크론{4}} 크기의 물방울을 형성합니다.

액체를 분해하기 위해 고압 공기 흐름에 의존하는 기존 압력 원자화(-)와 비교하여 초음파 원자화는 고압 공기 흐름 간섭이 필요하지 않으므로 더 균일한 물방울 크기 분포(±10% 이내)를 얻을 수 있습니다. 또한 공기 흐름 영향으로 인해 물방울이 튀거나 기판 표면을 방해하는 것을 방지합니다.

 

2. 이송경로의 정밀한 제어

우리 회사에는 분무 스프레이 경로를 독립적으로 프로그래밍할 수 있는 전문 프로그래밍 엔지니어가 있습니다. 또한 고객 요구 사항에 따라 다양한 스프레이 경로를 맞춤 설정할 수도 있습니다. 우리는 완전한 기계 제조 분야에서 성숙한 경험을 가지고 있습니다. 각 장치에 대해 고객을 위해 프로그래밍합니다. 화면에서 고객은 실시간-스프레이 경로를 볼 수 있습니다. 경로 선택 외에도 우리는 공기 흐름 속도(전송 거리 제어, 일반적으로 5{7}}50mm) 및 노즐과 기판의 상대적 위치(3차원 위치 지정을 위한 로봇 팔 또는 이동 스테이지 사용)를 조정해야 하며, 원자화된 입자가 기류 난류로 인해 발생하는 고르지 않은 코팅 두께를 방지하면서 원자화된 입자가 수직으로 균일하게 기판 표면에 도달하도록 보장합니다.

3. 코팅막 형성: 저온-경화로 구조적 무결성 보장

원자화된 액적이 기판 표면에 증착된 후 저온 경화 공정(일반적으로 60도 -120도, 기존 스핀 코팅의 고온 경화 온도보다 훨씬 낮은-)을 거쳐 필름을 형성합니다. 저온 경화는 고온으로 인한 기판 변형이나 재료 저하를 방지할 뿐만 아니라 포토레지스트 내의 응력 축적을 줄여 코팅의 접착력과 구조적 무결성을 향상시켜 후속 포토리소그래피 공정을 위한 좋은 기반을 마련합니다.